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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

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白光干涉儀三維輪廓儀

參  考  價: 960000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號:SuperViewW1

品       牌:中圖儀器

廠商性質:生產商

所  在  地:深圳市

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更新時間:2025-03-08 18:22:38瀏覽次數:964次

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羅健

經理
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產地 國產 加工定制
SuperViewW1白光干涉儀三維輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW1白光干涉儀三維輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

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產品功能

(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例:

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部分技術指標


型號

W1

光源白光LED
影像系統1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×)


XY位移平臺

尺寸
320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
臺階測量
可測樣品反射率0.05%~100%
主機尺寸700×606×920㎜


如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。


性能特色

1、高精度、高重復性

1)采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高;

2)隔振系統能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用,獲得高測量重復性;

2、環境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環境噪聲檢測模塊,能夠定量評估出外界環境對儀器掃描軸的震動干擾,在設備調試、日常監測、故障排查中能夠提供定量的環境噪聲數據作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態,最大限度的保護儀器,降低人為操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統

既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩定工作。

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SuperViewW1白光干涉儀三維輪廓儀局部位移精度可達亞微米級別,可測非常微小尺寸的器件;測量大尺寸樣品時支持拼接功能,將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致。

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